F04200 - SEMI F42 - Test Method for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity Revision:SEMI F42-0200 - Replaced 125 Inch Type Surface Mount

125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems

ここで定義される全ての測定基準は，ノンクラスタツール，シングルパスクラスタツール（SPCT），マルチパスクラスタツール（MPCT）内の装置モジュール，装置モジュールの所期のプロセスセット (IPSs)およびマルチパスクラスターツール（MPCT）を含む装置システムに適用可能である。本文書は，装置モジュールレベルの性能の関数としてIPSの性能を初めて定義することにより，MPCTのためのRAM測定を取り扱う方法を定義している。提示している測定基準ごとに，IPSおよびMPCTに必要な特別な取り扱いをすべて定義している。

このため本仕様により，

4 and SEMI M6

SEMI PV54-0421 (technical revision)

F04200 - SEMI F42 - Test Method for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity Revision:SEMI F42-0200 - Replaced 125 Inch Type Surface MountNOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI F47. The purpose of this Document is to define the test method used to characterize the susceptibility of semiconductor processing, metrology, and automated test equipment to voltage sags. This Document defines the testing procedures and test equipment required to characterize the susceptibility of equipment to voltage sags by showing voltage